精密柱塞泵是由电动机提供泵的动力，经鼓型齿联轴器带动减速机转动。由减速机减速带动曲轴旋转。通过曲柄连杆机构，将旋转运动转变为十字头和柱塞为往复运动。当柱塞向后死点移动时，泵容积腔逐步增大，泵腔内压力降低，当泵腔压力低于进口压力时，吸入阀在进口端压力作用下开启，液体被吸入；当柱塞向前死点移动时，泵腔内压力增大，此时吸入阀关闭，排出阀打开，液体被挤出液缸，达到了吸入和排出的目的。

　　精密柱塞泵的泵油机构包括两套精密偶件：柱塞和柱塞套构成柱塞偶件、出油阀和出油阀座构成出油阀偶件。柱塞和柱塞套是一对精密偶件，经配对研磨后不能互换，要求有高的精度和光洁度和好的耐磨性，其径向间隙为0.002～0.003mm 。柱塞头部圆柱面上切有斜槽，并通过径向孔、轴向孔与顶部相通，其目的是改变循环供油量；柱塞套上制有进、回油孔，均与泵上体内低压油腔相通，柱塞套装入泵上体后，应用定位螺钉定位。柱塞头部斜槽的位置不同，改变供油量的方法也不同。

　　出油阀和出油阀座也是一对精密偶件，配对研磨后不能互换，其配合间隙为0.01mm 。出油阀是一个单向阀，在弹簧压力作用下，阀上部圆锥面与阀座严密配合，其作用是在停供时，将高压油管与柱塞上端空腔隔绝，防止高压油管内的油倒流入喷油泵内。

　　出油阀的下部呈十字断面，既能导向，又能通过柴油。出油阀的锥面下有一个小的圆柱面，称为减压环带，其作用是在供油终了时，使高压油管内的油压迅速下降，避免喷孔处产生滴油现象。当环带落入阀座内时则使上方容积很快增大，压力迅速减小，停喷迅速。

　　柱塞泵滑靴与斜盘的滑动磨擦是斜盘柱塞泵三对磨擦副中复杂的一对。出柱塞杆球头与滑靴球窝的间隙，如果柱塞与滑靴间隙超差，柱塞腔中的高压油就会从柱塞球头与滑靴间隙中泄出，滑靴与斜盘油膜减薄，严重时会造成静压支承失效，滑靴与斜盘发生金属接触磨擦，滑靴烧蚀脱落，柱塞球头划伤斜盘。柱塞杆球头与滑靴球窝超出公差1.5倍时，必须成组更换之。